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半导体专用真空烘箱

适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等无氧化干燥、固化、焊接、退火等处理工艺。

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优势

采用立式腔体设计，上部为工作腔体，腔体内有隔板与冷却管道、后背鼓风电机、下箱柜有真空泵、冷却管路与颗粒物过滤器安装在下部电器柜内，腔体内设有抽气口、放气口、氮气进气口、抽气真空阀安装在箱体底部后背；

箱体外壳：优质A3/厚度1.5mm冷轧钢板加100*100*80mm槽钢焊接而成，表面静电喷塑；

内腔体：进口SUS304/厚度3.0/5.0mm拉丝不锈钢板；

开门机构：槽钢与钢化玻璃连接制成（单开门）；

门封材料：箱门闭合松紧能调节，整体成型日本进口硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度；

温度控制：高精度微电脑PLC程序控温仪，采用PID与经验值模糊控制技术，控温精确、工作温度任意设定，数据记录储存，USB数据导出功能，故障报警查询功能；

真空控制：通过PLC继电器来控制自动抽真空，且实现延时抽真空及定时开关机。抽气管路装有电磁阀。可设置定时开启真空泵，自动抽气，定时停机功能，数据记录储；

结构

参数表

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远怀科技成立于2009年，上股交科创板挂牌企业（股票代码：300560）、国家高新技术企业、专精特新企业，是一家为全球客户提供反应、浓缩、分离、纯化、温控整体解决方案和设备的综合化技术和装备服务商，已有上万台设备系统服务于全球100多个国家和地区的上千家知名企业。远怀科技与中外合作伙伴成立合资企业并开展技术合作，并拥有具有全球竞争力的现代化生产基地。